DWT-702 精密温度自动控制仪

DWT-702精密温度自动控制仪
产品介绍
DWT-702精密温度自动控制仪适用于晶体管、固体集成电路、可控硅元件等半导体制造过程中各种外延、烧结和扩散等工艺，也适用于各种晶体生长、拉单晶等工艺。能对电阻性负载的各种电加热炉能提供长时间连续性的高精度温度自动控制。
 
规格参数
DWT-702精密温度自动控制仪适用于晶体管、固体集成电路、可控硅元件等半导体制造过程中各种外延、烧结和扩散等工艺，也适用于各种晶体生长、拉单晶等工艺。
 
产品技术数据
型    式：盘装式、便携式
设定范围：O～19.999mV***配用热电偶 S(LB-3)
          O～59.999mV***配用热电偶K (EU_2)
设定精度：0.3***
设定方式：五位十进数定拔盘
调节精度：±O.1％
放大器时漂：≤4μV／24小时
PID调节器参数：P：2～250％       连续可调
               I：O.5～10分钟    连续可调
               D：O～3分钟       连续可调
输出信号：移相脉冲，幅值>3V  宽度>30μs(20Ω负载)
移相范围：每交流半周>150℃
数偶保护：断偶时，偏差指示为正偏差，调节器输出为零，仪表无输出
抗干扰性：纵向220V50Hz：横向5mV
工作环境：温度为0～40℃相对湿度不超过
          85％RH的无腐蚀性气体的场合
大气压力：860～1060mbar
电    源：220V.AC±10％50Hz
重    量：约6.5kg